풍속 측정
클린룸이란 먼지, 공기중 미생물, 에어로졸 분자, 화학적 증기등의 환경적인 오염물질이 아주 낮은 환경으로 연구실이나 반도체 공정등에 널리 이용됩니다. 더 정확히 말하면 클린룸 내부는 입방미터 내 오염물질의 입자의 크기와 정도를 컨트롤 합니다. 내부 환경을 지속적으로 모니터링하기 위해서는 초정밀 측정장치를 설치해야 합니다.
제품
EE660
저속용 풍속 센서
0.15m/s까지의 정확한 측정값으로 클린룸 및 층류 모니터링에 최적화되었습니다. 전류 및 전압의 아날로그출력 또는 Modbus RTU, BACnet MS/TP 프로토콜과 함께 RS485 인터페이스의 디지털출력이 가능합니다.
EE680
층류 모니터링용 풍속센서
GMP의 요구사항을 준수하는 EE680 센서는 클린룸내의 풍속과 온도를 정확하게 측정합니다.
EE75
산업용 초정밀 풍속트랜스미터
10 bar 압력과 120°C의 고온 환경에서 사용 가능 한 산업용 초정밀 풍속, 온도 측정 트랜스미터. 실험실등의 기준기 용도로 적합.