클린룸이란 먼지, 공기중 미생물, 에어로졸 분자, 화학적 증기등의 환경적인 오염물질이 아주 낮은 환경으로 연구실이나 반도체 공정등에 널리 이용됩니다. 더 정확히 말하면 클린룸 내부는 입방미터 내 오염물질의 입자의 크기와 정도를 컨트롤 합니다. 내부 환경을 지속적으로 모니터링하기 위해서는 초정밀 측정장치를 설치해야 합니다.